6月，欧盟“在欧洲打造可持续的半导体产业”（GENESIS）项目宣布启动。该项目由法国原子能委员会电子与信息技术实验室（CEA-LETI）牵头，汇集了整个欧洲半导体价值链的58个合作伙伴，致力于为半导体制造行业开发可持续工艺与技术，助力欧洲芯片产业实现从材料开发到最终废弃物处理的可持续发展目标。该项目为期3年，预算近5500万欧元^[1]（约合4.6亿元人民币），聚焦4个技术方向，预计交付约45项可持续创新成果。

（1）监测与传感：实时排放追踪、溯源及工艺反馈系统。

（2）新型材料：用于先进半导体工艺的无全氟和多氟烷基化合物（PFAS）化学品及低全球变暖潜能值（low-GWP）替代方案。

（3）废弃物减量：溶剂/气体/浆料回收、再利用及可持续替代方面的创新。

（4）缓解关键原材料影响：降低对关键原材料的依赖并加强资源安全的策略等。

此外，项目还计划构建一个整体框架，包括部署传感器集成减排系统，以减少PFAS和温室气体排放，并通过使供应链实践符合环保法规，助力欧洲成为绿色半导体创新的领导者。

（郭文娟）