5月12日，美国国防高级研究计划局（DARPA）发布“高温传感器”（HOTS）研究计划，拟开发可在极端温度下运行的高带宽、高动态范围传感的微电子传感器^[1]。

传感器大量部署在美国国防和工业系统中，包括石油和天然气、汽车、替代能源、地热应用，以及航空航天等领域。而在这些环境中，传感器容易受到温度的影响。目前能够承受热苛刻条件的传感器仅限于位于热区的低灵敏度传感器，它通过嘈杂的电器连接方式与位于冷区的远程微电子器件耦合，由此集成的传感器缺乏高温任务所必需的频率带宽和动态范围。因此，美国迫切需要可在极端高温环境下捕捉复杂流动动态的高性能压力传感器。

HOTS计划旨在开发和演示能在高温（800 ）下以高带宽（>1MHz）和动态范围（>90dB）工作的换能器、信号调节微电子技术和集成技术，以满足各类系统对传感器在极端环境下稳定工作的需求，具体包括三大目标：研发耐高温的长寿命和高带宽晶体管；研发耐高温的高灵敏度传感器，研发耐高温且性能不受影响的传感器。该计划将同时利用宽带隙半导体的研究进展、新兴材料制造技术、异质集成技术来解决技术难题。

（黄茹 万勇）